1、光刻机：半导体制造业皇冠上的明珠

光刻机是光刻工艺的核心设备，制造难度极大，主要由光学系统、机械系统和控制系统构成。目前市场上的光刻机主要分为g-line、i-line、KrF、ArF、EUV五代迭代更新，其中g-line逐渐被市场淘汰，第五代EUV光刻机的最小工艺节点达到了最优。在光刻机的更新迭代中，对光源、光学透镜、反射镜系统提出了越来越高的要求。

(相关资料图)

2、光刻机产业链涉及范围广

从产业链来看，光刻机产业链主要包括上游设备及材料、中游光刻机生产及下游刻机应用三大环节。光刻机技术极为复杂，在所有半导体制造设备中技术含量最高。主要涉及系统集成、精密光学、精密运动、精密物料传输、高精度微环境控制等多项先进技术，生产一台光刻机往往涉及到上千家供应商。

目前高端光刻机制造领域，全球只有少数几家公司能掌握，那就是荷兰的ASML，日本的尼康和佳能。中低端领域，国产光刻机龙头上海微电子（SMEE）能够触及。目前，上海微电子已经能实现90nm量产（600系列光刻机），正在攻克28nm光刻机，与ASML的技术实力仍有较大差距，国产光刻机亟待突破。

3、2022年光刻机市场规模超200亿美元

根据全球半导体设备市场规模估算，2021年全球光刻机市场规模为181亿美元，2022年将达到201亿美元。全球光刻机前三大厂商的市场份额占比达90%以上，根据前三大厂商的销售数据显示，2015-2021年,全球光刻机销售量总体增长，2021年达478台。

根据以上逻辑，从基本面和技术面两方面入手，精选个股，供大家参考：

苏大维格（300331）

1、具备核心设备光刻机自制+微纳结构设计能力+材料应用全产业链一体化创新能力，向上海微电子提供光刻机用重要部件。

2、公司导光材料广泛应用于AR、智能汽车制造领域，自研生产的光刻设备可促进HJT电池片的降本增效。

3、客户涵盖华为、苹果、三星、京东方以及部分高校、科研院所。

赛微电子（300456）

1、公司深耕MEMS微系统领域。公司MEMS产品覆盖硅基麦克风、惯性传感器、微透镜、微流控、射频滤波器、硅光等，客户遍及全球各个行业。

2、收购瑞典Silex转型成为全球MEMS纯代工领域龙头。目前瑞典产线（Fab1&Fab2）定位于工艺开发+小规模量产平台，依托长期工艺开发经验获得大客户青睐，典型客户包括全球AR/VR龙头、光刻机客户、DNA测序设备客户、知名硅光客户等。

3、公司从事第三代半导体业务，主要是指GaN材料的生长与器件的设计，公司已成功研制8英寸硅基氮化镓外延晶圆，且正在持续研发氮化镓器件；公司一直为全球光刻机巨头厂商提供透镜系统MEMS部件的工艺开发与晶圆制造服务；公司的角色是为华为（海思）提供硅光子芯片的代工服务，包括工艺开发和晶圆制造。

4、2022年12月底公司与武汉敏声合作共建8英寸BAW滤波器实现通线，成为下一步产能爬坡及规模量产基础。根据敏声官网报道，产品主要包括WiFi2.4、B40、B41等FBAR滤波器产品以及N77、N79等频段5GBAW滤波器。

5、公司一直为全球光刻机巨头厂商提供透镜系统MEMS部件的工艺开发与晶圆制造服务。

参考资料：

20230205-财通证券-苏大维格-300331-利空已释放，2023业绩有望快速回升

20230204-华安证券-赛微电子-300456-业绩预告表现承压，北京多款新品验证试产顺利

20230511-光大证券-电子半导体行业新周期系列报告之二：光刻机：半导体设备明珠，国产化突破在即

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